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IC科普 | 一颗芯片是如何诞生的?

发布时间:2023-03-22

来源:IC修真院

之前我们总是在聊如何设计芯片,今天就从制造端来聊聊——芯片是如何诞生的。

01从沙子到单晶硅棒

从一把可以随手扬起的沙子,到各行各业不可或缺的芯片,需要经历成百上千道加工程序。其中第一步,就是先把沙子变成单晶硅。


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沙子主要成分是二氧化硅,芯片所需的硅元素就蕴含其中。

但要真正地制造芯片,对硅原料的纯度要求就非常高了——平均100W个硅原子中最多只能有1个杂质原子。

所以就需要对沙子进行反复多次提纯,然后在高温下通过区熔或直拉工艺,在炉膛中整形或提拉,然后得到硅单晶体棒(单晶硅棒),纯度要求达到99.9999%。


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02从单晶硅棒到晶圆

得到单晶硅棒后,进行横向切割就能得到许多圆柱形的单晶硅片。这个硅片,就是我们常说的晶圆(Wafer)。

晶圆直径越大,制造难度越大,能够切割出来的芯片也越多。目前主流的晶圆直径是12英寸(大概30cm)。


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切片之后还需要经过研磨、抛光、清洗工序,让晶圆片的表面比镜面还要洁净平整,以便于后续刻制电路。

到这一步,我们只是为建造芯片打好了“地基”,离芯片本身还差得很远,接下来才是汇集最先进技术的加工步骤。

03从晶圆到芯片

集成电路,顾名思义就是把设计好的电路以堆叠的形式集成在一起,就像建造城市一样。


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这也就是为什么业内常说造芯片就像盖房子。

如何把设计好的电路版图实现在晶圆片上?这其中涉及的步骤就比较多了。

1. 光刻

光刻是芯片制造中非常重要的一个工艺程序,也是决定了芯片集成度的核心工序。

在进行光刻之前,需要在晶圆上涂抹液态光刻胶,这一步也叫匀胶。这样做可以让光刻胶变得薄且平。


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光刻胶层透过掩模被曝光在紫外线之下,变得可溶,掩模上印着预先设计好得电路图案,紫外线透过它照在光刻胶层上,就会形成每一层电路图形。这个原理和老式胶片曝光类似。


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也就是说,要通过匀胶、前烘、曝光、显影、坚膜等一系列步骤,把晶圆表面薄膜的特定部分去除,留下带有微图形结构的薄膜。这样一来,设计好的电路图形就能从光刻板上转移到晶圆表面的光刻胶上。

这就要求光刻设备要具备非常高的图形分辨率和灵敏度,并且保证缺陷度低。

一般情况下,在半导体器件制造整个过程中会进行很多次光刻流程,生产复杂一些的集成电路可能需要进行多达50步光刻。

2. 刻蚀

刻蚀和光刻的联系非常紧密。

刻蚀就是通过化学反应或物理作用,把晶圆上没有被光刻胶覆盖的部分去除掉,只留下一个一个的凹槽(也就是所需要的电路结构)。

刻蚀技术主要分为干法刻蚀与湿法刻蚀。干法刻蚀主要利用反应气体与等离子体进行刻蚀;湿法刻蚀主要利用化学试剂与被刻蚀材料发生化学反应进行刻蚀。

3. 掺杂

扩散和离子注入都是主要的掺杂工艺。

这一步就是可控数量的所需杂质掺入到晶圆的特定区域里,改变半导体的电学性能,使导电的性能增大增强,最后形成N区或P区。

在刻蚀和离子注入完成后,光刻胶的使命就完成了,将光刻胶清除后就可以得到设计好的电路图案。到此为止,晶体管基本就已完成。

接下来还会进行磨平、形成电极、晶圆测试等步骤。之后,就要对晶圆进行切割,形成一颗一颗的die。

04、把芯片封装起来

其实我们平时常见的芯片,都是通过封装之后的得到的芯片产品。


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封装就是把芯片的焊区和封装的外引脚互连,然后再使用绝缘材料外壳把芯片打包起来。

这样做一方面可以防止芯片受损,起到保护芯片性能、便于运输的作用,另一方面也可以通过互连,把芯片组件/电路模块连接起来。

接下来就是芯片测试环节,通常包括老化测试、成品检测和可靠性测试,通过测试会将不良品剔除掉,留下没有缺陷的芯片产品。

至此,我们日常所必需的芯片就诞生了。

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